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半导体用氮气烤箱循环风道性能和加热的结构设置有别于普通烘箱,设备装有氮气装置,有进口氮气流量计,能更准确的控制氮气的流量进入到箱体内,并且配有快速插拔充氮气接
小型蒸发镀膜仪,实验室气相沉积设备用于真空蒸发镀光学薄膜、有机物薄膜和金属薄膜、在衬底上沉积各单层金属膜,主要用于蒸镀电极及有机半导体材料的物理化学性能研究
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